【摘 要】
：
本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程
【机 构】
：
华东师范大学电子科学技术系,上海科技大学（分部）技术物理系
论文部分内容阅读
本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程中,随退火温度的不同,SIPOS的电导率的变化存在两个不同过程:低温退火过程中,电导率的变化与SIPOS中的Si-O键的分布和作用有关;而在高温退火过程中,电导率的变化则是SIPOS薄膜再结晶的结果。本文对SIPOS的掺杂效应也进行了研究。结果表明,SIPOS掺杂后电导率明显提高;而含氧量对掺杂后的SIPOS的电导率的提高具
其他文献
为提高航天器系统的可靠性,研究一种干扰影响下的航天器主动容错控制技术.首先,为实现干扰下的故障诊断,减小航天器系统故障检测到故障估计之间的时间延迟,通过将故障扩展为
阐述了测定乙丙橡胶中乙烯、丙烯组成的意义和方法，借助核磁共振数据建立了红外光谱法的标准工作曲线，并对其精确性进行了评价。
4月22日，为纪念第38个世界地球日，青海省国土资源厅在西宁市体育馆门前举行了以“善待地球——从节约资源做起”为主题的大型宣传活动。省国土资源厅及所属各单位、西宁市国土
高校作为意识形态建设的前沿主阵地,一定要践行和培育社会主义核心价值观,增强高校意识形态的主导权和话语权,通过巩固高校网络意识形态安全、强化优秀传统文化对大学生的影
杭州汽轮机股份有限公司(以下简称“杭汽轮”),是中国最大的工业汽轮机研发及制造基地、可按用户特殊需求非标定制工业汽轮机的髙端装备制造企业,已经有超过六十年的发展历程
为进一步在公务往来等工作中规范使用直管协会的简称,按照国资委办公厅《关于印发直管协会规范简称的通知》,自2020年7月1日起中国机械工业联合会使用规范简称——“中国机械
我国是一个水资源十分短缺的国家，加强水资源管理刻不容缓。为此，本文结合我国水资源管理的料际状况，从思想、组织、方法、手段等方面分别论述了加强水资源系统管理的必要性和可
本文提出了一种新的中心设计方法。该方法将一维搜索法与随机逼近优化法相结合,利用二次模型对参数空间上电路的响应进行近似,采用相关抽样和二次模型对设计参数的不同中心值
当前,我国高层建筑不断兴起,在高层建筑的具体运行过程中,电梯是其中至关重要的组成部分,它已经成为该类建筑中至关重要的交通工具。然而,在电梯的运行过程中,很容易出现某些
用XPS,APES和ARPES分析技术综合探测了钡钨阴极(包括铝酸盐、钨酸盐和钪酸盐阴极)的表面化学,获得了一些新的结果。实验表明:阴极表面光电子谱峰的形貌特征与阴极的激活状态