太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术

来源 :第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jscumt
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随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选.但由于石英基材自身特点以及高频段应用的特殊要求,石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟,文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析,提出了电路制作应注意的技术要领和工艺难点的解决方法.
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