论文部分内容阅读
<正>紫外波段依据波长通常可以划分为:长波紫外或UVA（320<λ≤400nm）、中波紫外或UVB（280<λ≤320nm）、短波紫外或UVC（200<λ≤280 nm）以及真空紫外VUV（10<λ≤200nm）[1]。紫外发光二极管（LED）因其在激发白光、生化探测、杀菌消毒、净化环境、聚合物固化以及短距离安全通讯等诸多应用领域有着巨大的潜在应用价值而备受关注。此外,基于氮化铝镓（AIGaN）材料的紫外LED也是目前氮化物技术发展和第三代半导体材料技术发展的主要趋势,拥有广阔的应用前景。目前全球紫外光源市场规模约为4.27亿美元,不过