浮空场限坏终端结构的仿真分析

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为了提高功率半导体器件的耐压,常常在其结构终端上设置浮空场限环,而环宽、环间距以 及环数的确定是玚限环设计的难点.本文利用Baliga的理论基础,结合silvaco的仿真分析,给出了 1200V 平面功率半导体器件所需要的浮空场限环的设计参数.
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