【摘 要】
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采用旋涂工艺,以K9玻璃为衬底,制备低表面粗糙度的惯性约束聚变（ICF）分解实验用的聚苯乙烯（CH）和聚氯乙烯（PVC）平面薄膜靶,对它们的厚度、宽度和表面光洁度等靶参数进行测量.结果表
【机 构】
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赣南师范学院物理与电子信息学院,同济大学上海市特殊微结构材料与技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51302040）, 江西省教育厅青年科学基金（GJJ13652）, 江西自然科学基金青年基金（20142BAB216011）
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采用旋涂工艺,以K9玻璃为衬底,制备低表面粗糙度的惯性约束聚变（ICF）分解实验用的聚苯乙烯（CH）和聚氯乙烯（PVC）平面薄膜靶,对它们的厚度、宽度和表面光洁度等靶参数进行测量.结果表明,CH和PVC平面薄膜靶的厚度分别为18μm和6μm,对应的宽度分别为200μm和300μm.CH和PVC平面薄膜靶都具有较好的表面光洁度,它们平均粗糙度Ra的最大值分别3.7 nm和4.5 nm,TIR表面最高点与最低点差值TIR的最大值分别58.4 nm和56.8 nm.
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