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以ZnO烧结陶瓷为靶材，应用射频磁控溅射技术在（001）蓝宝石、（100）MgO衬底上制备ZnO波导薄膜。利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息。结果表明：在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构；薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的C轴择优取向；薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比；薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响；薄膜的有效折射率较ZnO体材料小且受衬底材料影响。生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上