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本文根据自参考剪切干涉技术，采用球面补偿自准直原理，提出了一种新型激光干涉球径义。详细介绍了该球径仪的测量原理，结构及误差分析，并给出了实验测试结果。
一种新型激光干涉球径仪原理与分析
【摘 要】
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本文根据自参考剪切干涉技术，采用球面补偿自准直原理，提出了一种新型激光干涉球径义。详细介绍了该球径仪的测量原理，结构及误差分析，并给出了实验测试结果。
【机 构】
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曲阜师范大学物理系,曲阜师范大学激光研究所
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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1995年5期
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