【摘 要】
：
研究分析了多功能模块化MEMS的背景、发展现状及工艺,采用模块化技术,研究具有一定通用性的多功能组装模块和封装模块,并将柔性自动化微操作技术与模块化MEMS组装与封装工艺
论文部分内容阅读
研究分析了多功能模块化MEMS的背景、发展现状及工艺,采用模块化技术,研究具有一定通用性的多功能组装模块和封装模块,并将柔性自动化微操作技术与模块化MEMS组装与封装工艺设备结合起来,研究适用于多种MEMS器件、高效率、高质量的柔性自动化MEMS组装与封装关键设备,实现MEMS从组装到封装的后端制造柔性自动化操作的解决方案,符合我国目前MEMS发展现状,可以满足MEMS技术发展的多种需求。
其他文献
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
列奥·施特劳斯认为，由于现代政治哲学的历史主义导向，现代学问作为一种“传承的知识”具有明显的衍生特征；相反，古代哲学作为一种“独立获取的知识”直接面对政治生活的“首
介绍一种一次性输液器针头防脱落装置的研制和使用方法。以一次性输液器原有结构为基础,在输液器针头后方输液管上增加1个双头卡式结构。针头插入输液袋瓶塞后,双头卡式结构
【正】 君不见,黄河之水天上来, 奔腾至海不复回 ——李白 一、小引:一石激起千层浪 1986年春节前后,一部电视剧,引起了整个社会轰动性的注目;一个有棱有角的人物,
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
本文采用发泡法制备泡沫陶瓷材料，并对发泡过程中泡沫体膨胀的演变过程及动力学机制进行了研究。由获得的泡沫体膨胀体积与发泡时间的关系曲线看出：泡沫体体积膨胀经历3个阶段：
优化教学方法应当在确立新的教学观念的基础上,继续保持、完善一些传统有效的教学方法。作为艺术职业院校五年制表演专业声乐教师,应该不断优化声乐教学方法,来提升声乐教学
非物质文化遗产名录中的传统舞蹈具有悠久的历史和深厚的文化内涵,其历史性、综合性、文化性的特征对青少年的综合素质具有深刻的教育意义。本文通过对非遗舞蹈中藏族弦子舞
在当今信息量不断膨胀的时代背景下,视觉图像的简化方式过于单一。如果有意识地把握设计的隐性表达层面,将受众的感官联动过程化为设计师思考创造的一部分,可以在微交互上给
目前,全球面临着环境污染和能源危机两大难题。半导体光催化剂可以将太阳能转化为化学能,是治理环境污染和解决能源危机的有效途径之一。其中,以TiO2为代表的光催化剂,由于其