氮化铝陶瓷薄膜热导率的分子动力学模拟

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhiqi_xu

【摘要】

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采用平衡分子动力学方法（EMD）研究了平衡温度为300K的氮化铝薄膜的法向热导率．利用stillinger-Weber势函数以及Green—Kubo线性响应理论计算热导率．计算结果表明，氮化铝薄膜的热导

【作者】

：

杨平沈敏王鸣

【机构】

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江苏大学微纳米科学技术研究中心

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

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2006年05A期

【关键词】

：

热导率氮化铝薄膜分子动力学声子 thermal conductivity thin films molecular dynamics phonon

【基金项目】

：

江苏省高技术研究计划项目资助（BG2003024）

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采用平衡分子动力学方法（EMD）研究了平衡温度为300K的氮化铝薄膜的法向热导率．利用stillinger-Weber势函数以及Green—Kubo线性响应理论计算热导率．计算结果表明，氮化铝薄膜的热导率值显著小于对应大体积材料的实验值，具有明显的尺寸效应,在氮化铝薄膜为1．47～5．39nm的范围内，氮化铝薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而近似的线性增加．

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