应变硅控制

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Linhan
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
带有Scribe View的BedeMetrix-F型应变硅工艺控制系统可用于大规模半导体制造。该系统可以提供在划线或者经过光刻工艺的晶圆的键合区上通过小点进行原位测量。它采用高清晰度的X射线衍射测量各种参数,可以测量90nm节点的外延层应变、成分、厚度以及松弛。其他应用还包括超薄阻挡层金属工艺控制和金属叠层工艺控制。
其他文献
<正> 1989年秋冬以来,东欧几个国家的政局发生了急剧的变化,国家的性质和方向发生了根本性的变化。二年多来事变发展的事实证明了,这场剧变的性质是从社会主义和平演变到资本主义。这是二次大战以来国际共产主义运动中出现的触目惊心的重大事件,它使社会主义事业遭到严重的挫折,给国际工人运动带来巨大损失,引起了全世界人民的瞩目、关切。 东欧社会主义国家发生重大演变,有其深刻的社会历史根源,是国际国内诸多因素交互作用的结果,也是战后几十年来,这一地区各种矛盾交错、积累,并在一定气候下的总爆发。考察、分析
编写词典,收词问题是个重要环节。本文对《现代汉语规范词典》收词的历时与共时关系、现代与当代关系、收录百科性词语与普通词语的关系、收录本民族词语与外来词语的关系、客
“韬光养晦”是邓小平同志提出的我国对外战略策略方针的重要组成部分,在我国以往的外交活动中显示了重大作用和指导性。我们不能把它仅仅理解为妥协、退让,要深明其内涵,并随时
美国半导体产业协会(SIA)上月公布的数据显示,6月份全球半导体销售额较上年同期飙升了40%,至178亿美元,DRAM销售及售价上升是促使全球半导体销售大幅增长的主要原因。
如何处理保底条款问题联营是企业之间或企业、事业单位之间为达到一定的经济目的所实行的横向联合经营的一种组织形式。保底条款是指企业之间或企业、事业单位之间在结成联营
目的探讨地震对灾区人群血浆同型半胱氨酸(homocysteine,HCY)水平的影响。方法随机抽取150名汶川地震灾民(研究组)、150名健康体检者(对照组)进行心理问卷调查,测定血浆HCY水平。结
四项基本原则是我国的立国之本,坚持四项基本原则是我们实现共同富裕的根本保证。坚持社会主义道路是实现共同富裕的制度保证;坚持人民民主专政是实现共同富裕的坚强后盾;中国共
<正> 经过十多年的改革开放,已经初步建立起来的中国特色社会主义模式的内容和形式是什么呢?从社会政治经济的宏观体系看,中国特色社会主义模式的基本框架是:政治一体化经济多元型。即在社会制度上,始终如一地坚持中国共产党和人民政府的一体化政治领导;在经济制度上,建立和完善以公有制为主导的各种经济形式并存的多元型经济格局。这种模式,不同于“国家至上,高度统一”的斯大林模式,也不是戈尔巴乔夫“人道的民主的社会主义”,更不是美国的“自由世界”,它是符合我国生产力发展要求的中国式社会主义。
目的 探讨慢性阻塞性肺疾病(chronicobstructive pulmonary disease,COPD)稳定期患者的疾病不确定感与应对方式之间的相关性,为临床干预提供依据。方法 便利抽样法选择解放军第
全面建设小康社会是在探索中国现代化建设道路的进程中提出的,是社会主义初级阶段战略目标的细化,从层次、内容到状态都有其不同之处。全面建设小康社会要大力发展先进的生产力