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主要介绍国内外替代ＣＦＣ－１１３（氟里昂）清洗工艺的原因，美日对此工艺研究进展情况，国内替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺研究也在进行之中，替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺势在必行。
替代CFC—113清洗工艺的发展动向
【摘 要】
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主要介绍国内外替代ＣＦＣ－１１３（氟里昂）清洗工艺的原因，美日对此工艺研究进展情况，国内替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺研究也在进行之中，替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺势在必行。
【机 构】
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北京计算机技术及应用研究所
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1996年2期
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