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根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求，设计了极紫外Mg／SiC双功能多层膜反射镜，并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明：5°入射的双功能多层膜反射镜在30．4nm和58．4nm处的反射率分别大于41％、小于0．209／6。
极紫外Mg／siC双功能多层膜反射镜的设计
【摘 要】
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根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求，设计了极紫外Mg／SiC双功能多层膜反射镜，并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明：5°入射的双功能多
【机 构】
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上海电机学院数理教学部
【出 处】
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上海电机学院学报
【发表日期】
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2010年4期
【基金项目】
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上海市高校优秀青年教师科研专项基金项目（sdj09013）
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