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随着高能量大功率激光器的发展和激光元件的广泛应用，用于红外窗口表面增透保护的类金刚石薄膜（DLC）的抗激光损伤特性成为评价薄膜质量优劣的一个重要指标。然而，不同的制备方法和技术沉积的DLC薄膜具有各异的微观结构，从而具有不同的抗激光损伤特性。本文采用脉冲真空电弧（PVAD）和非平衡磁控溅射（UBMS）技术沉积了DLC膜，对两种DLC膜抗激光损伤特性进行了研究，测试结果表明，两种技术沉积的DLC薄膜激光损伤阈值分别0．6J／cm^2和0．3J／cm^2，PVAD技术比UBMS技术沉积的DLC薄膜具有更高的抗