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本文用ＭＯＣＶＤ技术制备了Ｚ＿ｎＳ：Ｍ＿ｎ交流电致发光（ＡＣＥＬ）薄膜，用转靶衍射仪测量薄膜的Ｘ射线衍射谱，首次用二次离子质谱系统分析在薄膜中的分布，并对曲线的起伏给予解释。
用MOCVD技术制备Z_nS：M_n交流电致发光薄膜
【摘 要】
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本文用ＭＯＣＶＤ技术制备了Ｚ＿ｎＳ：Ｍ＿ｎ交流电致发光（ＡＣＥＬ）薄膜，用转靶衍射仪测量薄膜的Ｘ射线衍射谱，首次用二次离子质谱系统分析在薄膜中的分布，并对曲线的起伏给予解释。
【出 处】
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内蒙古民族师院学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年2期
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