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砷化镓晶片生产过程中，产生大量废水，其中主要污染物是悬浮状态的砷化镓微粒。本文以水玻璃为原料，合成了无机高分子聚合硅酸铁(PFSS)，并用它对此类含砷废水进行了混凝处理。条件实验表明：在PFSS的铁硅比1：(0．5～1)、熟化时间5～7d、使用量8～12mg／L、出水pH=6～8时，混凝效果较好，出水达到了GB8978-96的排放标准，且除砷效果优于常规混凝剂，用量较少，可作为一种新型无毒混凝剂推广使用。