【摘 要】
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介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计, 该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成, 工作
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计, 该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成, 工作波段8~30 nm, 测量样品的最大尺寸为130 mm×120 mm×120 mm(长×宽×高), 可以利用这台反射率计对软X射线波段光栅、滤光片和多层膜反射镜等光学元件进行测量和评估. 为检验反射率计的性能指标, 利用该反射率计对本室研制的软X射线多层膜反射镜的反射率进行了测量, 测量结果与理论计算结果
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