氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析

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对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析。结果表明,薄膜中含有C≡N键、C=N键以及C—N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低。改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化。
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