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氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析
氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析
来源 :矿冶工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dai_dx
【摘 要】
:
对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析。结果表明,薄膜中含有C≡N键、C=N键以及C—N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C
【作 者】
:
毕凯
刘军
陈春
【机 构】
:
镇江船艇学院物理教研室,江苏大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
矿冶工程
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
氮化碳薄膜
红外光谱
磁控溅射
carbon nitride films infrared spectroscopy magneto controlled sp
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对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析。结果表明,薄膜中含有C≡N键、C=N键以及C—N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低。改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化。
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