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激光干涉测量系统在精密测量领域占有重要地位，它对温度变化、大气变化、激光波长变化、机械安装误差和外界振动等比较敏感，影响系统的测量精度和稳定性。针对此情况，该文提出一种新型的激光干涉光路，两光臂呈完全共路结构，使干涉条纹信号具有极强的抗干扰能力；对光路进行抗干扰分析和理论推导；构建位移测量系统，进行系统测试实验和误差分析。实验表明，本系统测量分辨力0.72nm，合成标准不确定度5．2nm（k=2），运行速度0．56mm／s，量程0．01mm。