SJ-2型数字式涡流位移振幅测量仪的研制

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sk01230147
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一、前言电涡流传感器具有抗干扰性强、灵敏度高、线性范围宽、非接触测量、不受被测介质的影响等一系列优点,因此广泛应用于机械、航空、化工等部门。例如:在机械行业中,对高精度磨床主轴回转精度分析、轴的振摆量小到1~2μm,甚至还要小,这么小的振摆量对测试仪器要求相当高,要求仪器具有高的动态分辨率,即高的信噪比。在机械加工中,工件尺寸的测量、轴回转热变形及金属板材厚度的在线测量,对仪器除要求高的分辨率外,更重要的是仪器的温度漂移要小。为进一步提高仪器的各项指标,我们研制了新的电涡流位移振幅测量仪。 I. INTRODUCTION The eddy current sensor has many advantages such as strong anti-interference, high sensitivity, wide linear range, non-contact measurement and unaffected by the measured medium. It is widely used in machinery, aviation and chemical industries. For example: In the machinery industry, high-precision grinding machine spindle rotation accuracy analysis, the shaft vibration as small as 1 ~ 2μm, or even smaller, such a small amount of vibration on the test equipment requirements are quite high, requiring instruments with high Dynamic resolution, high signal-to-noise ratio. In the machining, the measurement of the workpiece size, the axis of the rotary heat distortion and the thickness of the sheet metal online measurement, in addition to the requirements of the instrument high resolution, more importantly, the instrument temperature drift should be small. In order to further improve the instrumentation, we developed a new eddy current displacement amplitude measuring instrument.
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