SOI在高压器件中的应用

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kenkenson

【摘要】

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综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和

【作者】

：

王石冶刘卫丽张苗林成鲁宋志棠

【机构】

：

中国科学院

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年z1期

【关键词】

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SOI 高压器击穿电压

【基金项目】

：

国家重点基础研究专项经费(G20000365),国家自然科学基金资助项目(90101012),上海市科技发展基金资助项目(0252nm084和0359nm004)

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综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURF LDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论.

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