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TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定
TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定
来源 :玻璃搪瓷与眼镜 | 被引量 : 0次 | 上传用户:plumblossommeihua
【摘 要】
:
介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃
【作 者】
:
张洪响
张晓东
冯冠奇
张冲
曹志强
张淳
孟鹏
洪兰兰
舒众众
粟舜华
李阳
冯清华
周阳强
于龙光
【机 构】
:
蚌埠中光电科技有限公司,安徽蚌埠233030;蚌埠中光电科技有限公司,安徽蚌埠233030;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,安徽蚌埠233030
【出 处】
:
玻璃搪瓷与眼镜
【发表日期】
:
2021年4期
【关键词】
:
TFT玻璃基板
缺陷分析
铂铑缺陷
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介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃缺陷的分析经验.
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