论文部分内容阅读
ITO薄膜的制作是彩色虎光片生产中非常重要的一道工序，本文着重介绍了薄膜的制作工艺有磁控溅射、化学气相沉积、真空反应蒸发、溶胶-凝胶法、微波ECR等离子体反应蒸发沉积、脉冲激光沉积、喷射热分解等几种方法。其中磁控溅射工艺具有沉积速率高均匀性好等优点而成为一种广泛应用的成膜方法。对磁控溅射的原理、磁控溅射具有的特点进行了较为详细的叙述。