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我们进行了多种磷化氢(PHa)脱除剂的研制与筛选,以寻求用于磷化氢尾气的净化及含磷化氢气体的提纯。在试验室,以N2-PH3为模拟气,对脱磷剂的性能进行了考察。重点考察了反应温度、空间速度、原料气浓度对脱磷效果的影响。试验结果表明,所研制的11种脱磷剂中,RP-03、RP-04、RP-05和RP-06脱磷剂对磷化氢均有较好的脱除能力,室温下脱除深度可达20ppb以下,其中,尤以RP-06为最佳。在空速为2.4×10^4hr^-1、反应温度为333K时,穿透脱磷容量为105.8mg/g。