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本文针对制备SiBCN陶瓷所用的SiCl3CH3-BCl3-NH3-H2体系，基于已建立的热化学数据库，根据化学平衡原理，确定了不同工艺参数下各反应体系中一些重要产物的平衡产量分布，给出了相应体系的固相产物分布规律，为实验研究提供可靠的理论参考。
CVD法制备硅硼碳氮陶瓷的化学反应热力学研究
【摘 要】
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本文针对制备SiBCN陶瓷所用的SiCl3CH3-BCl3-NH3-H2体系，基于已建立的热化学数据库，根据化学平衡原理，确定了不同工艺参数下各反应体系中一些重要产物的平衡产量分布，给出了相应
【机 构】
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天津大学先进陶瓷加工技术教育部重点实验室,西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室
【出 处】
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现代技术陶瓷
【发表日期】
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2016年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金（50572089,50642039）.
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