钛酸钡系薄膜的制备方法、性质及应用

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综述了制备钛酸钡系薄膜的各种方法,如:溶胶-凝胶法、有机金属化学气相沉积法、射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法等,其中主要对溶胶-凝胶法和射频磁控溅射法的制备原理及工艺特点进行了讨论.介绍了钛酸钡薄膜的性质和掺杂后(主要是锶掺杂)对薄膜电性能的影响,对它们的应用现状进行了概括,并对钛酸钡系薄膜的发展趋势做了展望.
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