【摘 要】
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The space-charge layer (SCL) and surface depletion area (SDA) model for beveled p-n junction is presented. Thesurface space-charge density is calculated for dep
【机 构】
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School of Electronics and Information Engineering,School of Information and Communication Engineerin
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The space-charge layer (SCL) and surface depletion area (SDA) model for beveled p-n junction is presented. Thesurface space-charge density is calculated for depletion case of beveled p-n junction. Based on the finite difference method,the effect of the equivalent surface charge density on the surface depletion area for positively beveled p-n junction is alsostudied. Thyristors passivated with polyimide (PI) or polyester improved silicon paint (SP) are fabricated to verify the effectof equivalent surface charge on the peripheral surface of beveled p-n junction. The change of leakage current is sensitive tothe surface charges. It indicates that the selection of passivation materials is a significant process to ensure the breakdownvoltage capability of beveled devices.
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