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曾几何时，万分之几英寸就被认为是高精度了，而如今，人们对精度的要求已经达到了亚微米量级。
纳米级定位应用于工业加工
【摘 要】
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曾几何时，万分之几英寸就被认为是高精度了，而如今，人们对精度的要求已经达到了亚微米量级。
【出 处】
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软件
【发表日期】
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2009年3期
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