【摘 要】
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用于切割生产硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生产。采用CZ法生产过程中,由于设备故障、人员操作等因素经常会产生局部不良导致提断处理,提断会导致整棒报废,损失较大,成本增加
【基金项目】
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2018年山西省重点研发计划项目基金(201803D421097),2019年山西省重点研发计划项目基金(201903D121019)
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用于切割生产硅芯的原料硅棒,一般采用CZ法生产。采用CZ法生产过程中,由于设备故障、人员操作等因素经常会产生局部不良导致提断处理,提断会导致整棒报废,损失较大,成本增加明显。结合生产实际,实验出一种融接工艺,可以使提断后硅棒继续生长,同时融接面没有隐裂、气泡等不良。经检验该工艺满足生产要求,基本可以避免提断损失。
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