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对于复杂的ＭＣＭ多层互连基板，电测试是控制成本、确保质量的关键环节。本文简要介绍了探针电阻、电容、电子束、潜在路缺陷电测试主其测试技术的应用。
MCM基极电测试技术
【摘 要】
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对于复杂的ＭＣＭ多层互连基板，电测试是控制成本、确保质量的关键环节。本文简要介绍了探针电阻、电容、电子束、潜在路缺陷电测试主其测试技术的应用。
【机 构】
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西安微电子技术研究所
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
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1998年3期
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