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本文主要对高危制程气体输送系统安装调试进行探讨,提出了气瓶固定支架,管道与支架间隔离处理,规范焊接充氩保护,KF真空卡钳式法兰连接等安装调试施工方法,保证半导体制程气体输送系统高洁净度、高密闭性等要求。
高危制程气体输送系统安装调试技术探讨
【摘 要】
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本文主要对高危制程气体输送系统安装调试进行探讨,提出了气瓶固定支架,管道与支架间隔离处理,规范焊接充氩保护,KF真空卡钳式法兰连接等安装调试施工方法,保证半导体制程气
【机 构】
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成都市工业设备安装公司
【出 处】
：
安装
【发表日期】
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2016年3期
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