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直流喷射化学气相沉积金刚石膜，其完整性一直是个难以解决的技术难题，并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬鹿与膜的结合力、以及衬鹿的膨胀系数等，分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。
影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题
【摘 要】
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直流喷射化学气相沉积金刚石膜，其完整性一直是个难以解决的技术难题，并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬鹿与膜的结合力、以及衬鹿的膨胀系数等，分析了
【机 构】
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河北省激光研究所
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2008年4期
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