基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构

来源 :测试技术学报 | 被引量 : 23次 | 上传用户：sonim0

【摘要】

：

垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率

【作者】

：

李秋柱刘毅牛康康刘君丑修建

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室

【出处】

：

测试技术学报

【发表日期】

：

2009年03期

【关键词】

：

微器件白光干涉垂直扫描法包络线零光程差位置 micro device white-light interference vertical scannin

【基金项目】

：

国家自然基金重点资助项目（5053503050730009）

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