【摘 要】
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为提高304不锈钢耐磨损性能，采用磁过滤阴极弧等离子体沉积的方法制备TiAlSiN多层梯度涂层，研究多层梯度结构对涂层摩擦磨损性能的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XR
【机 构】
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空军工程大学等离子体动力学重点实验室,北京师范大学核科学与技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(51405506);陕西省重点研发计划(2017ZDXM-GY-048)~~
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为提高304不锈钢耐磨损性能，采用磁过滤阴极弧等离子体沉积的方法制备TiAlSiN多层梯度涂层，研究多层梯度结构对涂层摩擦磨损性能的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱仪（XPS）、纳米压痕仪和划痕仪等方法对涂层的表面形貌、物相结构以及力学性能进行表征，并通过MST-3001摩擦磨损试验仪测试不同结构涂层的摩擦磨损性能。结果表明：与TiAlSiN单层涂层相比，TiAlSiN多层梯度涂层具有更高的结合力和韧性；两种涂层的摩擦因数和磨损率都远小于304不锈钢，其中TiA
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