【摘 要】
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单载波调制型差分电容检测电路是为满足微机械加速度计高线性度、高分辨率的需要而设计的，本文给出了检测电路的原理图，分析了寄生电阻、电容模型，从理论上证明该电路可有效消除
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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单载波调制型差分电容检测电路是为满足微机械加速度计高线性度、高分辨率的需要而设计的，本文给出了检测电路的原理图，分析了寄生电阻、电容模型，从理论上证明该电路可有效消除寄生电阻和电容的影响，并推导了各关键功能模块的传递函数；此外，从电路的各个局部环节研究了会对电路性能造成影响的因素，包括放大电路的噪声源、载波信号稳定性、两路电荷放大器一致性、调制信号与参考信号相位同步等。经理论推导，通过改进和避免不利因素的影响即可保证电路的稳定性，适用于微机械加速度计检测领域。
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