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激光图形描绘机FPS5100是制造先进电子封装领域使用的光掩膜量产设备。该设备可以快速完成作业，并易于制版厂商进行生产规划。该产品的产出效率达到每分钟12，000mm^2，此外，它的主写入网格精度达到0．4um。
激光图形描绘机
【摘 要】
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激光图形描绘机FPS5100是制造先进电子封装领域使用的光掩膜量产设备。该设备可以快速完成作业，并易于制版厂商进行生产规划。该产品的产出效率达到每分钟12，000mm^2，此外，它的主
【机 构】
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MicronicLaserSystemsAB
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年10期
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