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基于X射线荧光光谱的基础理论，简要分析了能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术。通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量，在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下，通过评估测量中各种不确定度来源和大小，总结出校准标准片在总不确定度中起的主导作用，为实际测量应用中提高精度提供理论基础。