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期刊论文
脊形波导气流传感器制作
脊形波导气流传感器制作
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xin24
【摘 要】
:
脊形波导气流传感器制作王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚(浙江大学信电系)光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视,脊形光波导与光纤一样是一种光波导,当然也能用作传感元件。
【作 者】
:
王跃林
金仲和
丁纯
徐义刚
【机 构】
:
浙江大学信电系
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年S1期
【关键词】
:
脊形波导
气流传感器
光波导
固定臂
干法刻蚀
国家自然科学基金
叶片
半导体激光器
传感元件
光敏器件
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脊形波导气流传感器制作王跃林,金仲和,丁纯,徐义刚(浙江大学信电系)光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视,脊形光波导与光纤一样是一种光波导,当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间的工艺兼容性问题,制作了一种用波导...
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