Y升温注入Al形成Y—Al合金研究

来源 :北京师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ac8297090

【摘要】

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利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件.X射线衍射分析表明注入层有Al3Y和Al2O3出现.从背散射分析可以发现,Y原子

【作者】

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张通和吴瑜光钱卫东

【机构】

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北京师范大学低能核物理研究所

【出处】

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北京师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

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钇离子注入铝深度分布增强扩散钇-铝合金 Y ion implantation aluminum formation of Y-Al alloy d

【基金项目】

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国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)

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利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件.X射线衍射分析表明注入层有Al3Y和Al2O3出现.从背散射分析可以发现,Y原子有着明显的增强扩散和外扩散效应,Y离子的深度分布已达620nm,远大于LSS理论的预计值.注入层钇铝原子比可达到17%～24%.连续铝合金层已经形成.

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