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本文基于静电场和弹性薄板理论,对MEMS静电结构的吸合现象进行了理论分析并给出公式化结果。然后借助于有限元分析软件ANSYS,对微开关中的静电驱动微悬臂梁进行分析,得到其吸合现象对应参数的标准数值,最后实现理论数值和标准数值的比较,以期对MEMS微执行器设计提供一定的理论支撑。
基于ANSYS的静电微执行器吸合现象分析
【摘 要】
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本文基于静电场和弹性薄板理论,对MEMS静电结构的吸合现象进行了理论分析并给出公式化结果。然后借助于有限元分析软件ANSYS,对微开关中的静电驱动微悬臂梁进行分析,得到其吸
【机 构】
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杭州电子科技大学机械工程学院
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
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2014年16期
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