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期刊论文
表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理
表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qqqqq721106
【摘 要】
:
表面氧污染的钛膜,其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多。在厚度d=400A,表面氧污染的钛膜上重新蒸镀,使其表面再生一层极薄的清洁钛膜。吸氢,释氢测量表明其吸氢能力得到恢复。
【作 者】
:
牟方明
张勇
【机 构】
:
中国工程物理研究院核物理与化学研究所,复旦大学真空物理实验室
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
钛膜
氧污染
吸氢
扩散阻挡层
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表面氧污染的钛膜,其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多。在厚度d=400A,表面氧污染的钛膜上重新蒸镀,使其表面再生一层极薄的清洁钛膜。吸氢,释氢测量表明其吸氢能力得到恢复。
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