【摘 要】
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目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台
【机 构】
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大连理工大学物理与光电工程学院,大连理工大学国家示范性微电子学院
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金“射频辅助脉冲电源驱动同轴介质阻挡放电脱除NOx的数值模拟研究”(项目编号:11405022);大连市高层次人才创新支持计划项目(项目编号:2016RQ020)
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目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验。大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要。介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项。此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案。
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