碳化硅镜片材料的加工研究现状

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为了推动碳化硅(S iC)光学材料镜面加工研究的发展,介绍了不同种类S iC及其针对性应用,综述了可用于S iC的精加工技术及获得高质量镜片表面的方法,并指出S iC光学材料镜面加工的发展方向. In order to promote the development of SiC mirror material processing research, the different types of SiC and its application are introduced. The finishing technology and the method to obtain high quality lens surface are summarized. It is pointed out that S iC optical materials mirror processing direction of development.
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