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本文建立三氯氢硅中钙、镁、铜、铁、铝、硼和磷的电感耦合等离子体发射光谱（ICP-AES）测定方法。方法的检出限为0．00-0．018gg／mL，回收率为92％-109％，相对标准偏差（RSD）为1．28％-4．65％。该方法很实用，结果令人满意。
ICP—AES法测定三氯氢硅中七种杂质
【摘 要】
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本文建立三氯氢硅中钙、镁、铜、铁、铝、硼和磷的电感耦合等离子体发射光谱（ICP-AES）测定方法。方法的检出限为0．00-0．018gg／mL，回收率为92％-109％，相对标准偏差（RSD）为1．28％-4．65％。该方法
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2009年5期
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