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描述了 Ge_xSi_(1-x)/Si 异质结长波长红外探测器的基本工作原理及结构,并结合器件介绍了实现异质结生长的各种工艺,如 MBE,CVD 等。
GexSi1—x／Si异质结长波长红外探测器
【摘 要】
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描述了 Ge_xSi_(1-x)/Si 异质结长波长红外探测器的基本工作原理及结构,并结合器件介绍了实现异质结生长的各种工艺,如 MBE,CVD 等。
【机 构】
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重庆光电技术研究所工程师
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1993年1期
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