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为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要，本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文超高真空计及快阀控制器设计，给出了束线和实验站真空联锁保护系统的应用实例。
一种快速超高真空保护系统
【摘 要】
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为了满足同步辐射光源光束线和实验站真空联锁保护系统的需要，本实验室研制出超高真空计、快阀及快阀控制器。本文超高真空计及快阀控制器设计，给出了束线和实验站真空联锁保护
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
：
分析仪器
【发表日期】
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2000年3期
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