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集束设备控制软件特别是半导体设备控制软件需要遵循SEMI标准,并且在设备控制软件领域,很多实体都是类似的。笔者所在单位将这些共性总结抽象,形成了可快速开发集束设备控制软件的平台。基于此平台的控制系统开发较以往大大缩短了开发周期,减少了开发成本,提高了产品质量。本文全面介绍了集束设备控制软件的体系结构,并详细介绍了通用开发平台的构成、内部设计以及应用。本文描述的通用开发平台已经在北方微电子得到广泛应用,北方微电子所有设备的控制系统都是基于此平台进行开发的。