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本文报道了一种利用射频无极放电激励的氮气等离子体新型光源，成功地对“星光”PS版进行了曝光，光谱分析表明氮气射频放电光源的光谱结构较碘镓灯更适于传统PS版曝光。为此，进一步从射频功率、工作气压等方面探讨了光源的最佳运行参数，得到在230Pa、160W采用两个传输透镜聚焦后获得的光源功率密度是2．23mW／cm^2。最后给出了运用此光源对PS版的曝光结果。