超精加工表面DIC测量方法研究

来源 :九江学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renbinf4
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微分干涉相衬显微技术能够实现对超精加工表面光学方法测量。本文对偏振分光棱镜进行了理论分析,简化了其设计过程,选用了合理的材料,完善了系统结构。
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