光学非球面器件检测新方法探究

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阐述了光学投影式检测非球面的基本原理.提出了利用计算机模拟光学检测过程的方法.明确了计算机模拟的目的及可达到的目标。在模拟过程中.选取了适合非球面的参考球面.利用光学基本理论和数学推导进行了理论分析及精密计算,得出非球面和参考球面的垂轴距离与接收屏上的待测距离的计算公式。根据理论计算公式.利用计算机C语言编程,对垂轴距离用于计算机进行了模拟.并利用excel制表作图.做出了非球面的模拟曲线.得到了和理论结果相符的模拟效果.模拟的精度达到±0.OO1μm。
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