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分析了方棱镜的剪切原理,提出了利用方棱镜作为剪切元件的大错位电子散斑干涉形貌测量技术.利用方棱镜作为剪切元件,对被测物体进行微小偏转以引入载波条纹,通过CCD摄像机采集载波条纹图,利用傅里叶变换法解调可得到物体高度的位相信息,从而实现物体的形貌测量.
基于方棱镜的大错位电子散斑干涉形貌测量技术
【摘 要】
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分析了方棱镜的剪切原理,提出了利用方棱镜作为剪切元件的大错位电子散斑干涉形貌测量技术.利用方棱镜作为剪切元件,对被测物体进行微小偏转以引入载波条纹,通过CCD摄像机采
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院,济南市铁道职业技术学院电气工程系
【出 处】
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山东师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2009年4期
【基金项目】
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山东省自然科学基金
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